芯片廠房危害因素分析
發(fā)布時間：2014-02-25 共1頁
主要危險危害因素分析
1、物質的危險危害
芯片生產過程中，使用多種化學物品，廠區(qū)內設有儲存這些化學物品的化學品庫，化學品種類達80種。按照GB13690-92《常用危險化學品的分類及標志》規(guī)定中對常用危險化學品，按其主要危險特性進行分類，該項目中使用的危險化學品有壓縮氣體和液化氣體，易燃液體、氧化劑、有毒品、腐蝕品等類別，這些物質的主要危險危害為：采集者退散
1）有毒有害氣體（如AsH3、PH3、SiH4、CO等）如泄漏與空氣混合遇明火易燃爆，有的可在空氣中自燃，有的可致人中毒、凍傷、窒息、直至死亡。
2）易燃液體（如丙酮、異丙醇等）如泄漏、揮發(fā)與空氣混合形成爆炸氣體遇明火、熱源可引發(fā)火災爆炸。
3）氧化劑（如過氧化氫等）如泄漏與有機物還原劑、易燃物接觸可引起火災爆炸。
4）腐蝕品（如酸類、堿類等）如泄漏與人體接觸可引起化學灼傷。
這些危險有害因素的主要物質理化特性，以及化學危險品的貯存、使用的危險性分析詳見化學品庫單元.
2、設備設施的固有危險危害
生產設備多，且特種設備的種類、數量多。電氣設備有110kV和10kV變配電站的變壓器、配電柜、以及各廠房內用電設備及控制系統(tǒng)；特種設備有燃氣鍋爐、空壓設備、冷凍設備、壓力容器及多種氣瓶和廠內機動車輛；儲存設備有儲氣罐、液氮罐、液氬罐、貯油設備、硫酸罐、氫氧化鈉罐等。其主要危險因素有：
1）火災爆炸
油罐如本身缺陷或安全裝置失效或管理不善出現泄漏，遇明火可引發(fā)火災、爆炸危險。
鍋爐使用燃料是天然氣，天然氣為易燃易爆氣體，一旦出現泄漏遇明火可引發(fā)火災。當天然氣與空氣混合的濃度達到爆炸極限時遇點火源可引發(fā)爆炸危險。
2）物理爆炸
鍋爐、壓力容器（蒸發(fā)器、冷凝器、儲氣罐）設備、氣瓶等，如設備有缺陷或超壓安全附件失效或使用不當，可引發(fā)物理爆炸。
3）觸電危險
變配電設備、電氣線路、用電設備如產品質量不佳、絕緣性能不良或因運行不當、機械損傷、維修不善導致絕緣老化破損或設計、安裝不規(guī)范，安全凈距不足，或違章操作，均可能引發(fā)觸電危險。如出現短路、過載、接觸不良等，也可引發(fā)電氣火災危險。
4）靜電危害
如火災、爆炸危險環(huán)境內設備、管路防靜電設計或施工不規(guī)范，或在使用、輸送、貯存易燃易爆物質時所產生的靜電電荷不能及時消除，或使用有火花工具、穿用不防靜電的鞋、服裝而產生靜電火花，均可能引燃易燃易爆物質，造成火災、爆炸。
5）高空墜落危險
凡2m以上各類高空作業(yè)點位，其梯、臺、道、護欄等常規(guī)性防護措施不符合規(guī)范要求或損壞，可引發(fā)高空墜落危險。
6）車輛傷害
廠內各類運輸車輛如車輛本身缺陷，或制動、音響、燈光等失效，道路狀況不符合規(guī)定要求或誤操作可引發(fā)車輛傷害。
7）機械傷害來
空壓站、冷凍站、水泵房、鍋爐房的旋轉、傳動設備如無防護罩或損壞，可引發(fā)機械傷害。
8）灼傷
高溫設備、蒸氣管路等表面，保溫、隔熱效果不好，易形成燙傷事故。各類使用激光源、紅外線光源的設備、機臺上，如因光源密閉性不好或損壞或操作不當，致使光源直射觀察者眼睛，將會造成眼灼傷。
9）噪聲危險
空壓設備、泵類、風機等設備在運轉時可產生噪聲危害。
生產工藝及危險化學品使用安全評價單元
支援車間危險化學品使用、儲存、安全措施情況如表5.2.1-3所示：
危險化學品使用、儲存及安全措施表 表5.2.1-3
序號 儲存場所名稱 儲存危險化學品名稱 氣柜數量（個） 安全設施
1毒性氣
體室 砷化氫混合氣（AsH3/H2） 1 10%氦氣/氮氣工藝吹掃、TGM報警、消防水噴淋、排風、火災聲光報警、shut down 按鈕、勞動防護用品專柜、雙套管輸送，內套管為真空，設偵測器，介質泄漏時，報警。
1.5%鍺烷/氫氣（GeH4/H2） 1
1%磷化氫/氮氣混合氣（PH3/N2） 1
5%磷化氫/氮氣混合氣（PH3/N2） 2
2易燃氣體室 氨氣（NH3） 8 10%氦氣/氮氣工藝吹掃、TGM報警、氨、氟環(huán)境監(jiān)測報警、消防水噴淋、排風（酸堿性排風系統(tǒng)分開）、火災聲光報警、shut down 按鈕、勞動防護用品專柜。
一氧化碳（CO） 3
二氯硅烷（SiH2Cl2） 1
二氟甲烷（CH2F2） 1
50ppm乙硼烷/氫氣（B2H6/H2） 1
氟甲烷（CH3F） 2
100ppmB2H6/N2 1
5% B2H6/N2 2
100ppm乙硼烷/氫氣（B2H6/H2） 2
10%氨氣/氮氣 1
C4F6 1
3腐蝕性氣體室 Cl2 2 10%氦氣/氮氣工藝吹掃、TGM報警、消防水噴淋(ClF3無)、排風、火災聲光報警、shut down 按鈕、勞動防護用品專柜。
ClF3 2
HBr 2
HCl 11
SiF4 1
4氧化氣體室 NF3 9 10%氦氣/氮氣工藝吹掃、TGM報警、消防水噴淋、酸性排風、火災聲光報警、shut down 按鈕、勞動防護用品專柜。
N2O 7
30%O2/He 6
5 惰性氣體室 1.2%He+N2 1 10%氦氣/氮氣工藝吹掃、TGM報警、消防水噴淋、排風、火災聲光報警、shut down 按鈕、勞動防護用品專柜。
C4F8 2
CHF3 1
C2F6 1
CO2 1
CF4 2
CHF3 2
SF6 2
He 1
4%H2/N2 1
6 酸室 HCl CDM 1 設排風系統(tǒng)、收集井、吸收棉、雙套管輸送、內設泄漏報警偵測器、PEH在線型火災聲光報警裝置，自動水噴淋裝置。
BOE CDM 1
HF CDM 2
NOE CDM 1
HNO3 CDM 1
H3PO4 CDM 1
H2SO4 CDM 2
HF100:1 CDM 1
7 Base Room
（堿室） NH4OH 1 設排風系統(tǒng)、收集井、吸收棉、雙套管輸送內設泄漏報警偵測器，PEH在線型火災聲光報警裝置，自動水噴淋裝置、消防器材。
H2O2 2
SD-1 1
8溶劑室 ACT940 CDM 1 設溶劑排風系統(tǒng)、收集井、吸收棉、雙套管輸送、內設泄漏報警偵測器、PEH在線型火災聲光報警裝置，自動水噴淋裝置、消防器材。
EG-01 1
EBR10A 1
1PA-01CDM 1
危險危害辨識與分析
1、火災、爆炸
各類易燃液體、易燃氣體在生產、儲存、輸送過程中，一旦因設備材質缺陷、制造質量差、機械損傷等原因致使設備密封效果不好、包裝容器破損以及人員誤操作，造成物料泄漏，如作業(yè)現場通風不良，與空氣混和達到爆炸極限，遇有火源可能發(fā)生火災、爆炸；
2、腐蝕、中毒、化學灼傷
清洗、擴散、光刻、蝕刻等生產區(qū)、酸室、Base room、堿室、溶劑室等腐蝕性化學品生產、儲存、使用場所內，盛裝酸、堿性腐蝕品磷酸、鹽酸等設備、容器以及輸送管路因材質缺陷，制造質量差，搬運、使用過程機械損壞、傾翻，造成物料泄漏，如人體接觸泄露的酸、堿性物質將會引起嚴重的化學灼傷；同時各類腐蝕性氣體、毒性氣體因盛裝氣瓶、輸送管路、使用設備腐蝕、制造缺陷等原因造成泄漏，人接觸或吸入有毒、腐蝕性氣體，均會造成人員中毒。
3、物理爆炸
各類壓力容器（包括氣瓶）、管道，如果設備、管道因材質缺陷、設計不合理、制造焊接質量差、腐蝕等使其強度降低以及安全閥、壓力表等附件失靈等，可能發(fā)生容器、管道不能承受設計壓力而發(fā)生爆炸，造成人員傷亡，設備損壞。來
4、高溫灼傷
高溫設備、蒸氣管路等表面，保溫、隔熱效果不好，易形成燙傷事故。
5、激光、紅外線輻射灼傷
在各類使用激光源、紅外線光源的設備、機臺上，如因光源密閉性不好或損壞或操作不當，致使光源直射觀察者眼睛，將會造成眼灼傷。
6、高頻、噪聲傷害
在離子植入區(qū)，使用離子植入機等高頻設備；清洗、光刻、蝕刻區(qū)使用各類清洗機、蝕刻機、微影機等產生噪聲的設備，如上述各類設備高頻、噪聲防護措施不當或損壞都會對人員造成物理因素傷害。
7、高處墜落
當去廢溶劑儲罐等相對基準面標高超過2m設備進行檢查、操作或維修設備時，若未按標準設置鋼梯、護欄、平臺或設置不完善，作業(yè)人員去檢查、操作或檢修時，稍不慎會發(fā)生高處墜落事故。
8、觸電
各類用電設備、照明、配電系統(tǒng)線路保護接零未接或失效，線路絕緣損壞、線路短路等均可能發(fā)生觸電事故。
9、電氣火災
電氣設備、配電系統(tǒng)未按規(guī)定裝設漏電保護器、過電壓保護等裝置或失效，線路絕緣損壞、短路，以及防爆場所電氣設備、線路、照明不符合防爆要求等均會發(fā)生電氣火災。
10、雷電危害來
建筑物防雷設計不合理、施工不規(guī)范、接地電阻值不符合規(guī)范要求，當雷擊建筑物、電力設備、線路等時，會產生雷電過電壓，在雷電波及的范圍內會導致嚴重損壞建筑物、設備并可能危及人身安全。雷電火花還可能引發(fā)易燃易爆物質的火災、爆炸，造成嚴重的生命、財產損失。
11、靜電危害
如火災、爆炸危險環(huán)境內（如：光刻、清洗區(qū)、擴散區(qū)、可燃氣體儲藏間等）設備、管路防靜電設計或施工不規(guī)范，在使用、輸送、貯存易燃易爆物質時所產生的靜電電荷，不能及時消除，隨著時間延續(xù)，靜電荷將越聚越多，靜電電壓逐漸升高，當達到一定程度時，發(fā)生放電火花；或使用有火花工具、穿用不防靜電的鞋、服裝而產生靜電火花等，均可能引燃易燃易爆物質，造成火災、爆炸。
