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主要危險危害因素分析

1、物質(zhì)的危險危害

芯片生產(chǎn)過程中，使用多種化學(xué)物品，廠區(qū)內(nèi)設(shè)有儲存這些化學(xué)物品的化學(xué)品庫，化學(xué)品種類達(dá)80種。按照GB13690-92《常用危險化學(xué)品的分類及標(biāo)志》規(guī)定中對常用危險化學(xué)品，按其主要危險特性進(jìn)行分類，該項(xiàng)目中使用的危險化學(xué)品有壓縮氣體和液化氣體，易燃液體、氧化劑、有毒品、腐蝕品等類別，這些物質(zhì)的主要危險危害為：采集者退散

1）有毒有害氣體（如AsH3、PH3、SiH4、CO等）如泄漏與空氣混合遇明火易燃爆，有的可在空氣中自燃，有的可致人中毒、凍傷、窒息、直至死亡。

2）易燃液體（如丙酮、異丙醇等）如泄漏、揮發(fā)與空氣混合形成爆炸氣體遇明火、熱源可引發(fā)火災(zāi)爆炸。

3）氧化劑（如過氧化氫等）如泄漏與有機(jī)物還原劑、易燃物接觸可引起火災(zāi)爆炸。

4）腐蝕品（如酸類、堿類等）如泄漏與人體接觸可引起化學(xué)灼傷。

這些危險有害因素的主要物質(zhì)理化特性，以及化學(xué)危險品的貯存、使用的危險性分析詳見化學(xué)品庫單元.

2、設(shè)備設(shè)施的固有危險危害

生產(chǎn)設(shè)備多，且特種設(shè)備的種類、數(shù)量多。電氣設(shè)備有110kV和10kV變配電站的變壓器、配電柜、以及各廠房內(nèi)用電設(shè)備及控制系統(tǒng)；特種設(shè)備有燃?xì)忮仩t、空壓設(shè)備、冷凍設(shè)備、壓力容器及多種氣瓶和廠內(nèi)機(jī)動車輛；儲存設(shè)備有儲氣罐、液氮罐、液氬罐、貯油設(shè)備、硫酸罐、氫氧化鈉罐等。其主要危險因素有：

1）火災(zāi)爆炸

油罐如本身缺陷或安全裝置失效或管理不善出現(xiàn)泄漏，遇明火可引發(fā)火災(zāi)、爆炸危險。

鍋爐使用燃料是天然氣，天然氣為易燃易爆氣體，一旦出現(xiàn)泄漏遇明火可引發(fā)火災(zāi)。當(dāng)天然氣與空氣混合的濃度達(dá)到爆炸極限時遇點(diǎn)火源可引發(fā)爆炸危險。

2）物理爆炸

鍋爐、壓力容器（蒸發(fā)器、冷凝器、儲氣罐）設(shè)備、氣瓶等，如設(shè)備有缺陷或超壓安全附件失效或使用不當(dāng)，可引發(fā)物理爆炸。

3）觸電危險

變配電設(shè)備、電氣線路、用電設(shè)備如產(chǎn)品質(zhì)量不佳、絕緣性能不良或因運(yùn)行不當(dāng)、機(jī)械損傷、維修不善導(dǎo)致絕緣老化破損或設(shè)計、安裝不規(guī)范，安全凈距不足，或違章操作，均可能引發(fā)觸電危險。如出現(xiàn)短路、過載、接觸不良等，也可引發(fā)電氣火災(zāi)危險。

4）靜電危害

如火災(zāi)、爆炸危險環(huán)境內(nèi)設(shè)備、管路防靜電設(shè)計或施工不規(guī)范，或在使用、輸送、貯存易燃易爆物質(zhì)時所產(chǎn)生的靜電電荷不能及時消除，或使用有火花工具、穿用不防靜電的鞋、服裝而產(chǎn)生靜電火花，均可能引燃易燃易爆物質(zhì)，造成火災(zāi)、爆炸。

5）高空墜落危險

凡2m以上各類高空作業(yè)點(diǎn)位，其梯、臺、道、護(hù)欄等常規(guī)性防護(hù)措施不符合規(guī)范要求或損壞，可引發(fā)高空墜落危險。

6）車輛傷害

廠內(nèi)各類運(yùn)輸車輛如車輛本身缺陷，或制動、音響、燈光等失效，道路狀況不符合規(guī)定要求或誤操作可引發(fā)車輛傷害。

7）機(jī)械傷害來

空壓站、冷凍站、水泵房、鍋爐房的旋轉(zhuǎn)、傳動設(shè)備如無防護(hù)罩或損壞，可引發(fā)機(jī)械傷害。

8）灼傷

高溫設(shè)備、蒸氣管路等表面，保溫、隔熱效果不好，易形成燙傷事故。各類使用激光源、紅外線光源的設(shè)備、機(jī)臺上，如因光源密閉性不好或損壞或操作不當(dāng)，致使光源直射觀察者眼睛，將會造成眼灼傷。

9）噪聲危險

空壓設(shè)備、泵類、風(fēng)機(jī)等設(shè)備在運(yùn)轉(zhuǎn)時可產(chǎn)生噪聲危害。

生產(chǎn)工藝及危險化學(xué)品使用安全評價單元

支援車間危險化學(xué)品使用、儲存、安全措施情況如表5.2.1-3所示：

危險化學(xué)品使用、儲存及安全措施表       表5.2.1-3

序號  儲存場所名稱     儲存危險化學(xué)品名稱  　氣柜數(shù)量（個）    安全設(shè)施

1毒性氣

體室        砷化氫混合氣（AsH3/H2）        1        10%氦氣/氮?dú)夤に嚧祾摺GM報警、消防水噴淋、排風(fēng)、火災(zāi)聲光報警、shut down 按鈕、勞動防護(hù)用品專柜、雙套管輸送，內(nèi)套管為真空，設(shè)偵測器，介質(zhì)泄漏時，報警。

1.5%鍺烷/氫氣（GeH4/H2）        1       

1%磷化氫/氮?dú)饣旌蠚猓≒H3/N2）        1       

5%磷化氫/氮?dú)饣旌蠚猓≒H3/N2）        2       

2易燃?xì)怏w室        氨氣（NH3）        8        10%氦氣/氮?dú)夤に嚧祾摺GM報警、氨、氟環(huán)境監(jiān)測報警、消防水噴淋、排風(fēng)（酸堿性排風(fēng)系統(tǒng)分開）、火災(zāi)聲光報警、shut down 按鈕、勞動防護(hù)用品專柜。

一氧化碳（CO）        3       

二氯硅烷（SiH2Cl2）        1       

二氟甲烷（CH2F2）        1       

50ppm乙硼烷/氫氣（B2H6/H2）        1       

氟甲烷（CH3F）        2       

100ppmB2H6/N2        1       

5% B2H6/N2        2       

100ppm乙硼烷/氫氣（B2H6/H2）        2       

10%氨氣/氮?dú)?nbsp;       1       

C4F6        1       

3腐蝕性氣體室        Cl2        2        10%氦氣/氮?dú)夤に嚧祾摺GM報警、消防水噴淋(ClF3無)、排風(fēng)、火災(zāi)聲光報警、shut down 按鈕、勞動防護(hù)用品專柜。

ClF3        2       

HBr        2       

HCl        11       

SiF4        1       

4氧化氣體室        NF3        9        10%氦氣/氮?dú)夤に嚧祾摺GM報警、消防水噴淋、酸性排風(fēng)、火災(zāi)聲光報警、shut down 按鈕、勞動防護(hù)用品專柜。

N2O        7       

30%O2/He        6       

5 惰性氣體室        1.2%He+N2        1        10%氦氣/氮?dú)夤に嚧祾摺GM報警、消防水噴淋、排風(fēng)、火災(zāi)聲光報警、shut down 按鈕、勞動防護(hù)用品專柜。

C4F8        2       

CHF3        1       

C2F6        1       

CO2        1       

CF4        2       

CHF3        2       

SF6        2       

He        1       

4%H2/N2        1       

6  酸室        HCl CDM        1        設(shè)排風(fēng)系統(tǒng)、收集井、吸收棉、雙套管輸送、內(nèi)設(shè)泄漏報警偵測器、PEH在線型火災(zāi)聲光報警裝置，自動水噴淋裝置。

BOE CDM        1       

HF CDM        2       

NOE CDM        1       

HNO3 CDM        1       

H3PO4 CDM        1       

H2SO4 CDM        2       

HF100:1 CDM        1       

7 Base Room

（堿室）        NH4OH        1        設(shè)排風(fēng)系統(tǒng)、收集井、吸收棉、雙套管輸送內(nèi)設(shè)泄漏報警偵測器，PEH在線型火災(zāi)聲光報警裝置，自動水噴淋裝置、消防器材。

H2O2        2       

SD-1        1       

8溶劑室        ACT940 CDM        1        設(shè)溶劑排風(fēng)系統(tǒng)、收集井、吸收棉、雙套管輸送、內(nèi)設(shè)泄漏報警偵測器、PEH在線型火災(zāi)聲光報警裝置，自動水噴淋裝置、消防器材。

EG-01        1       

EBR10A        1       

1PA-01CDM        1       

危險危害辨識與分析

1、火災(zāi)、爆炸

各類易燃液體、易燃?xì)怏w在生產(chǎn)、儲存、輸送過程中，一旦因設(shè)備材質(zhì)缺陷、制造質(zhì)量差、機(jī)械損傷等原因致使設(shè)備密封效果不好、包裝容器破損以及人員誤操作，造成物料泄漏，如作業(yè)現(xiàn)場通風(fēng)不良，與空氣混和達(dá)到爆炸極限，遇有火源可能發(fā)生火災(zāi)、爆炸；

2、腐蝕、中毒、化學(xué)灼傷

清洗、擴(kuò)散、光刻、蝕刻等生產(chǎn)區(qū)、酸室、Base room、堿室、溶劑室等腐蝕性化學(xué)品生產(chǎn)、儲存、使用場所內(nèi)，盛裝酸、堿性腐蝕品磷酸、鹽酸等設(shè)備、容器以及輸送管路因材質(zhì)缺陷，制造質(zhì)量差，搬運(yùn)、使用過程機(jī)械損壞、傾翻，造成物料泄漏，如人體接觸泄露的酸、堿性物質(zhì)將會引起嚴(yán)重的化學(xué)灼傷；同時各類腐蝕性氣體、毒性氣體因盛裝氣瓶、輸送管路、使用設(shè)備腐蝕、制造缺陷等原因造成泄漏，人接觸或吸入有毒、腐蝕性氣體，均會造成人員中毒。

3、物理爆炸

各類壓力容器（包括氣瓶）、管道，如果設(shè)備、管道因材質(zhì)缺陷、設(shè)計不合理、制造焊接質(zhì)量差、腐蝕等使其強(qiáng)度降低以及安全閥、壓力表等附件失靈等，可能發(fā)生容器、管道不能承受設(shè)計壓力而發(fā)生爆炸，造成人員傷亡，設(shè)備損壞。來

4、高溫灼傷

高溫設(shè)備、蒸氣管路等表面，保溫、隔熱效果不好，易形成燙傷事故。

5、激光、紅外線輻射灼傷

在各類使用激光源、紅外線光源的設(shè)備、機(jī)臺上，如因光源密閉性不好或損壞或操作不當(dāng)，致使光源直射觀察者眼睛，將會造成眼灼傷。

6、高頻、噪聲傷害

在離子植入?yún)^(qū)，使用離子植入機(jī)等高頻設(shè)備；清洗、光刻、蝕刻區(qū)使用各類清洗機(jī)、蝕刻機(jī)、微影機(jī)等產(chǎn)生噪聲的設(shè)備，如上述各類設(shè)備高頻、噪聲防護(hù)措施不當(dāng)或損壞都會對人員造成物理因素傷害。

7、高處墜落

當(dāng)去廢溶劑儲罐等相對基準(zhǔn)面標(biāo)高超過2m設(shè)備進(jìn)行檢查、操作或維修設(shè)備時，若未按標(biāo)準(zhǔn)設(shè)置鋼梯、護(hù)欄、平臺或設(shè)置不完善，作業(yè)人員去檢查、操作或檢修時，稍不慎會發(fā)生高處墜落事故。

8、觸電

各類用電設(shè)備、照明、配電系統(tǒng)線路保護(hù)接零未接或失效，線路絕緣損壞、線路短路等均可能發(fā)生觸電事故。

9、電氣火災(zāi)

電氣設(shè)備、配電系統(tǒng)未按規(guī)定裝設(shè)漏電保護(hù)器、過電壓保護(hù)等裝置或失效，線路絕緣損壞、短路，以及防爆場所電氣設(shè)備、線路、照明不符合防爆要求等均會發(fā)生電氣火災(zāi)。

10、雷電危害來

建筑物防雷設(shè)計不合理、施工不規(guī)范、接地電阻值不符合規(guī)范要求，當(dāng)雷擊建筑物、電力設(shè)備、線路等時，會產(chǎn)生雷電過電壓，在雷電波及的范圍內(nèi)會導(dǎo)致嚴(yán)重?fù)p壞建筑物、設(shè)備并可能危及人身安全。雷電火花還可能引發(fā)易燃易爆物質(zhì)的火災(zāi)、爆炸，造成嚴(yán)重的生命、財產(chǎn)損失。

11、靜電危害

如火災(zāi)、爆炸危險環(huán)境內(nèi)（如：光刻、清洗區(qū)、擴(kuò)散區(qū)、可燃?xì)怏w儲藏間等）設(shè)備、管路防靜電設(shè)計或施工不規(guī)范，在使用、輸送、貯存易燃易爆物質(zhì)時所產(chǎn)生的靜電電荷，不能及時消除，隨著時間延續(xù)，靜電荷將越聚越多，靜電電壓逐漸升高，當(dāng)達(dá)到一定程度時，發(fā)生放電火花；或使用有火花工具、穿用不防靜電的鞋、服裝而產(chǎn)生靜電火花等，均可能引燃易燃易爆物質(zhì)，造成火災(zāi)、爆炸。